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    射頻電源匹配器一體機

    KVMEN?  AGM系列全固態射頻電源匹配器一體機,采用目前技術最穩定可靠的功放和直流模塊,從而使產品提供極其穩定的射頻功率輸出,產品更堅固耐用。

    內部集成匹配器模塊,采用目前最先進的數字式網絡匹配平臺,自動匹配器以快速、精確和可重復的方式,將等離子體的復阻抗與您期望的調諧范圍進行匹配。與傳統模擬調諧方法相比,數字調諧算法和步進電機驅動可產生更快速,更精準和高重復的響應,始終都保持與負載的阻抗點相契合。

    元器件質量高而數量少,使產品的可靠性和設備生命周期最大化。LCD顯示屏既全面又直觀的操作菜單,可在設備的控制面板上直接使用,提供獨一無二的易操作性,提高操作者效率,最小化培訓成本。

    性能參數

    AGM-1303

    功率輸出范圍

    5W-300W

    最大反射功率

    100W

    功率穩定度

    ±0.1%

    諧波分量

    -50dbc

    供電電壓

    單相交流(187V-253V) 頻率50/60HZ

    整機效率

    70%

    功率因素

    90%

    匹配器最大傳輸功率

    500w

    反射功率(最大功率時)

    <3w

    最大負荷電流

    30ARMS

    最大負荷電壓

    7500VRMS

    RF輸出連接器

    50 Ω, L29,或可定制

    匹配時間

    1~3s

    可匹配阻抗實部范圍

    0~80Ω

    可匹配阻抗虛部范圍

    200j~ 200j

    冷卻方式

    強制風冷

    整機重量

    19.5kg

    整機尺寸

    133 mm (H)×440 mm (W)×410 mm (D)


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